上海新阳又买了一台ASML二手光刻机 可用于研发28nm高端光刻胶

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原标题：上海新阳又买了一台ASML二手光刻机，可用于研发28nm高端光刻胶

作为半导体设备的“卡脖子”环节，光刻机向来是市场关注焦点。

3月11日晚间，又有一家公司宣布购得光刻机。上海新阳公告称，近日，由芯刻微公司委托盛吉盛（宁波）半导体材料有限公司（以下简称“盛吉盛”）代理投标，成功中标，购得ASML XT 1900Gi型二手光刻机一台，该设备可用于研发分辨率达28nm的高端光刻胶。

据悉，3月11日，芯刻微公司向盛吉盛支付10%首期货款购入该光刻机，剩余90%六个月内付清。后续公司将启动设备的运输及相关安装调试等工作。

去年8月，上海新阳与芯刻微、上海超成材料签署了《增资及股权转让协议》。增资及股权转让完成后，公司持有芯刻微38%的股权，超成科技持有芯刻微62%的股权，芯刻微公司未来进行ArF湿法光刻胶的研发。

上海新阳表示，集成电路制造用ArF湿法光刻胶产品技术要求高、投资需求大，公司为加速集成电路制造用高端光刻胶全品类的国产化进程，减少上市公司业绩压力，通过参股子公司芯刻微进行ArF湿法光刻胶的研发，并与协议各方承诺未来通过向上市公司进行股权转让或技术转让等方式避免可能的同业竞争。

上海新阳还表示，公司以实现集成电路高端光刻胶材料的国产化作为发展目标，在ArF干法、KrF厚膜及I线光刻胶方面已有技术与产品的突破。通过子公司芯刻微开展的ArF湿法光刻胶项目研发也已引进了核心技术专家团队，为ArF湿法光刻胶项目的开发提供了技术保障，现公司采购的ASML浸没式光刻机设备是对公司ArF湿法光刻胶技术先进性的设备保障，对加快公司集成电路制造用光刻胶产品研发项目进度有积极影响，有利于进一步提升公司光刻胶产品的核心竞争力，加速落实公司发展战略，提高公司抗风险能力和可持续发展能力。

实际上，这不是上海新阳第一次发布有关光刻机的信息。

就在3月8日，上海新阳公告称，公司自立项开发193nm ArF干法光刻胶的研发及产业化项目以来，安排购买了ASML-1400光刻机等核心设备。该光刻机设备已于当日进入合作方北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司场地，后续将进行安装调试等相关工作。

21世纪经济报道记者注意到，就在上述消息发布后的第二天，3月9日，上海新阳股价涨幅为3.66%。

（作者：张赛男 编辑：朱益民）

责任编辑：陈志杰