ASML全新EUV光刻机将于2021年中期发货

记者从ASML获悉，其公布了EUV路线图上的新机型TWINSCANNXE：3600D的最终规格，这是30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆，提高了18%的生产率，并改进机器匹配套准精度至1.1纳米，并计划于2021年的中期开始发货。（记者戚夜云）责任编辑：何中夫