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沈阳半导体装备产业成立技术创新联盟
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沈阳半导体装备产业成立技术创新联盟
沈阳半导体装备产业成立技术创新联盟
:优势互补 组团成长
沈阳半导体装备产业成立技术创新联盟
——优势互补组团成长(新征程新期待)双臂,四指,真空机械手有节奏地伸缩旋转。“伸缩动作3.2秒,旋转90度1.5秒,旋转180度2.2秒……”沈阳新松机器人股份有限公司半导体事业部工程师,正在实验室跟踪数据、调试产品。“这是新松第一次对外提供双臂真空机械手。”公司事业部副总裁杨奇峰介绍,这个产品专为沈阳拓荆科技有限公司的半导体薄膜设备开发。
人民日报
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2021-03-17 07:02:20
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